何星舟继续介绍:“真正制造出一枚芯片,至少需要五千道工序,今天我们展示的最后雕刻工序。”
“接下来,光刻机会在一枚小小尺寸的晶圆上,雕刻出超过七十亿个晶体管!”
“大家拭目以待!”
说完,工作人员便已经开始操作。
观众当然不可能进入光刻机里面看,只能通过电脑模拟以及监控的部分画面进行观看。
“现在播放的是我们之前完成的工艺!第一步,铸锭生产。”画面上,一堆沙子被氧化,提纯得到高纯度硅。
这些高纯度硅被熔化,成了银白色的物体“熔融硅”,然后被定型成为圆柱体。
“第二步,晶圆切割!”圆柱体被磨平边角,切成了小于1微米的薄片。
“第三步,晶圆碾磨,将晶圆继续做薄并且抛光。”
“第四步,涂抹光刻胶。”
“第五步,曝光,用光学元件将掩膜图案投射到晶圆上。”
众人看到,薄薄的晶圆上,已经出现了芯片的电子路线图案!
“第六步,显影,溶解暴露区域!”
“第七步,蚀刻。”这正是光刻机发挥作用的时候,在计算机技术的模拟下,观众看到,极紫外光在