其中中国腾飞作为主要出资方占股62%，电子科技X研究所出资10亿人民币以及相关专利技术和人才队伍占股38%。
以此为基础ZSNB集成电路制造股份有限公司向栾和平创办的WHZB采购了76台国产200纳米制程的光刻机，经过多次曝光可以完成160纳米制程芯片制造工艺，足以满足电子科技X研究所对180纳米制程的需求。
要知道在这个时候，180纳米制程的工艺那是相当先进的，英特尔公司最新推出的奔腾3系列处理器所使用的工艺便是180纳米制成。
正因为如此，180纳米制成在这个时候真的是属于世界前列先进工艺，可见电子科技X研究所研制的反导\\反卫星系统远程搜索雷达的性能有多高。
当然国产的光刻机还存在着诸多不足，比如说废品率就比同同期的阿斯麦尔公司生产的光刻机要高出两倍，功耗也高出一倍，不仅如此成品质量上照比欧美国家设备生产出来的芯片要低上一个档次。
但不管如何国产设备至少解决了现阶段中国腾飞对机动远程精确雷达的现实需求，质量稍微差点不要紧，后面慢慢提高就是了，欧美国家的先高端芯片制造设备也不是一蹴而就就有今天的局面，不都是慢慢积累