们学校争光了。”钱教授笑起来。
井熙又跟他聊起了自己的新想法:在继续研究激光全息技术之外,她同时还想做极紫外波段的研究。
极紫外波段又叫euv波段,因为这个波段内的强吸收作用,所以对其的辐射研究变得非常困难,直到1972年有科学家通过多层膜结构,理论上获得了较高的非掠入射反射率,才给这个问题的研究找到了方法。
即便如此,因为多层膜结构过于复杂,成本也高,目前研究这项技术的实验室还不多。
“你怎么突然想起做这个了?”钱教授不太理解。
井熙:“极紫外光波长短,能量密度高,理论上能够达到非常高的精密程度和锋利性,应该大有可为。”
井熙也是偶然听一场报告的时候,才想起这么一个之前被自己忽视的关键性技术。
单纯说起极紫外光或者euv,绝大多数人或许还有些陌生,但是要是说起光刻机,国人能聊的事情就多多了。
而evu,正是先进制程的7nm/5nm光刻机必不可少的技术。
当然,现在的钱教授并不能预料到这个技术以后对国家发展的重要意义,他只是本着师长的关心叮嘱了井熙一句,研究的范围还是不要盲目扩大