来,这种东西,还是第一次听说。
“这又是什么设备?原理是什么?能做什么?”
“这种东西能加工出我们需要的镜头吗?”
面对众人的问题,何苦缓缓说道:“完全可以!而且,离子束刻蚀的原理也相对简单,利用等离子体产生的低能离子東轰击需要去除的材料,通过物理溅射加以逸除。只要这台设备制造完成,今后,我们只需要将半成品镜头交给它完成最终处理就可以了!这是我们现在获取光刻镜头的最优解!”
“大家请看,这台设备由离子源、萃取栅系统和反应腔3个主要部分组成。离子源通入氢气或其他稀有气体产生低温等离子体,从而提供低能量离子。”
“何总工,冒昧问下,我们如何的获取离子?”
“可以通过电子回旋微波共振等离子体技术来获取较高密度离子,这个技术我早就想好了,等下细说。”
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