从p型掺杂入手。
对硼的掺杂浓度、衬底晶面等影响硼掺杂金刚石制备的因素,进行数据的统计分析。
因为9组数据的硼源选择都是B(CH3)3,所以这次的实验倒是不需要考虑硼源的影响了。
陈舟完全的投入到了紧张的数据分析之中。
也许是知道时间很紧的原因,陈舟手上的动作,也比平时加快了不少。
无论是敲击键盘的速度,还是拿笔在草稿纸上进行记录。
陈舟都尽量的在追赶着地球转动的步伐。
p型掺杂的实验数据搞定之后,陈舟开始处理n型掺杂实验的数据。
n型掺杂,也就是磷掺杂。
除了考虑和p型掺杂一样的磷的掺杂浓度、衬底晶面、温度这些基本的影响因素。
还有一点需要考虑。
那就是磷掺杂金刚石的电子散射机制,对迁移效率,同样有影响。
金刚石半导体中的电子散射机制,与内部的声学声子、谷间声子、离子杂质和中性杂质有关。
在室温下,当磷的掺杂浓度超过1×10^18/cm??时,杂质散射或缺陷态散射其主要作用。
而当磷的掺杂浓度低于这个浓度
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