微波功率密度,可以加强反应气体的分解电离,提高个反应基团的浓度和活性,促进生长,提高生长效率……”
“除了这些反应气体参数的影响,还有就是MPCVD装置本身的影响了。衬底托的形状,要如何选择,才能降低功率损失,并且提高金刚石的生产效率呢?”
陈舟看着眼前的整理出来的资料,脑海里不断闪过这些问题。
他习惯性的拿笔在草稿纸上点着,有了想法,就随手记下来。
等到把资料全部看完后,再整理这些想法。
“从以往的实验数据来看,MPCVD法可以制备几十纳米的金刚石薄膜,也可以制备毫米量级的金刚石厚膜。”
“但是,这需要较大的金刚石衬底,并且在后续的掺杂实验中,如果异质外延生成困难,也会导致难以制备出大尺寸高质量的金刚石单晶。”
“总而言之,还是制备金刚石的合适参数,难以选择。”
在陈舟把张一凡和沈靖两人整理的文献资料,重新梳理了一遍后,他开始梳理自己写在草稿纸上的内容。
这玩意,可以说是提炼出来的精华。
一边梳理,陈舟一边思考着相应的解决办法。
“CH4的体积分数,工作