0%),经过十余次反射后,最终能量利用率达11.3%,艾思迈EUV只有2%。
末端曝光功率,超过了625W,是艾思迈EUV的2.5倍。
至此。
国产EUV按理说已具有了足够的领先优势,完全可以宣布成功,并将产品投放市场。
“不够,领先这点程度还不够!”
台上的蒲伟才摇着头道:“因为光源系统极高的工作稳定性,索性,我们砍掉了复杂程度极高的‘纠偏系统’,再加入一台‘光源系统’,用两台超稳定的光源系统,交替工作,彻底代替纠偏系统,如同按上了两颗强有力的心脏,其可靠性不会比一颗心脏+纠偏系统差多少,并让整个系统大为简化,降低了生产成本。”
“除此之外!”
“两颗心脏如果同时开展工作,同时产生EUV光源,那么这台暴龙EUV,将进入‘狂暴状态’!”
“狂暴状态下,光刻功率翻倍,加工晶圆的能力翻倍,生产效率再次翻倍。”
“该状态下,十分钟内加工出的晶圆数量,超过艾思迈EUV工作一小时的加工数量。”
“一台暴龙,胜过六台艾思迈!”
“这就是所谓的狂暴模式!”