基单层薄膜作为铜互连扩散阻挡层的问题,邱总还是顽固得很!我们中芯是已经完整掌握技术的!设备虽然新,虽然改动,但我来这难道是捣乱的不成!”
方卓看这位大专家真的生气,脑子转的飞快,嘴里一字不差的重复道:“RUTI基单层薄膜作为铜互连扩散阻挡层的问题一定得慎重,得慎重,要不,我去找邱总说说,他也是心切。”
吴金刚脸色不渝的转过头:“方总,来来来,你给我说说什么叫RuTi?”
“这个……”方卓语塞,他能重复下来就不错了,这哪能知道什么RuTi不Ti的。
吴金刚更生气了:“方总,我看你们冰芯就没有诚意!就不想解决问题!明天就是7号了,照这么下去,待不待也无所谓,我今天晚上就回申城了!”
他直接起身就要走。
方卓可真急了,一把拽住大专家的胳膊:“走走走,我们一起去找邱总,今天你和邱总不教会我什么是RuTi,谁都别谁觉!”
这时,办公室门被推开,邱慈云的声音悠悠响起。
“RuTi是合金体系薄膜,我们用RuTa和RuNg薄膜阻挡层的特性来为RuTi作参照,它的合金薄膜在Cu阻挡层方面很不错。”