“方总,你懂不懂!前闸极的复杂结构,几乎不可避免的就会面临阈值电压的波动,必然会影响最终的良率!”梁孟淞还是生气的说道。
方卓加快语速,这次终于说了出来:“梁博士,我确实不懂啊。”
“方总,你懂不……呃,你不懂,你就不要瞎搞决策!”梁孟淞怒喷掌门人。
28nm制程节点上应用前闸极方案是业界主流方案,包括台记、联电、格芯、三星都是这样,只是,台记又转而提了要做后闸极。
从前闸极到后闸极,这种方案的转变,方卓在冰芯屡次的资料争执上已经瞧见极大的转向,像闸极材料,需要使用更高的电导率和热稳定性的金属材料,为的是减少电迁移问题和短沟道效应对芯片性能的影响。
还有诸如化学机械研磨、优化离子注入和热处理等工艺改进。
但这样一定就比前闸极方案好吗?
在业界广泛的讨论里来看,也未必。
甚至可以说,更多人还是支持前闸极方案。
方卓因为这个事和胡正明教授聊过,也从他口中明确听到了对前闸极的支持,这就……要真是按投票,冰芯肯定是前闸极方案。
恰恰,现在没按投票,所以要两种方案一起验证