里。
无疆微电子公司的总部设在了上海，就位于上海光学机械厂。
另外一个原因则是，上海光学机械厂在光学镜和光源领域，技术先进。
光学镜片是高端光刻机的核心部件之一，高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力；光源则是高端光刻机另一核心部件，光源波长决定了光刻机的工艺能力。光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源。
此外，上海光学机械厂的厂房占地面积比较大，有30公顷。
无疆微电子公司的总部确定好了之后，国家便把上海光学机械厂周边大量的土地也一并批给了无疆微电子公司，总面积达80公顷，今后主要用来建造无疆微电子实验室总部研发大楼，以及晶圆厂和其他半导体生产设备或生产材料。
目前，无疆微电子实验室总部研发大楼暂不着急建造，毕竟上海光学机械厂那么大，短时间内已经够用了。当务之急则是集中力量，改进BG-101步进式光刻机。与此同时，修建一座先进的晶圆厂。晶圆厂对生产环境的温度、湿度、洁净度、防微振等均有着严格的控制要求。这是上海光学机械厂原先所没有的，必须赶紧建造起来。
BG-101步进式光刻机的改进工作，