浊的眼,此时也多出了几分精光。
多维鳍式结构……
结合多维度的刻蚀和曝光技术,制程可以达到1nm?!
一位老专家在看清设计图上面的东西后,忍不住颤颤巍巍站了起来,他眉头紧锁,说:“这设计……是江院士做出来的?”
“严格意义上来说,是我负责构想和设计,MOSS负责后续模拟实验而做出的。”
“中间我俩不断试错,最终得出了这么一套方案出来,不过这套方案也只在模拟环境中运转成功了,真实什么样子,还需要把试验机做出来才知道。”
专家们满眼惊异地看着彼此,要知道光刻机研究,一般至少要投入上千资深科研人才行,现在江辰居然说他和MOSS一起搞定了整套方案?
专家纷纷被惊住了,呆愣在座位上。
难道江院士是在开玩笑吗?
“这计算方式……”
“居然是对的!”
光刻技术专家李老,实在没有忍住,吸了一口凉气,说道:“我随便看了一个技术点,大致是没问题的!”
“但这是1nm的制程,太逆天了,剩下的需要我们论证看看!”
李老是光刻领域少有的专家,早年他还去过荷洲