海棠书屋 > 都市小说 > 学霸从改变开始 > 正文 第245章 摇人帮忙(为阿歷加更3)
改进的。
    【热丝CVD法(HFCVD)制备金刚石膜】
    这篇文献对于HFCVD法制备金刚石膜的介绍比较全面。
    虽然这种方法是CVD法的鼻祖,但是现在使用的仍然非常普遍,而且发展成沉积金刚石薄膜较为成熟的方法之一。
    这种方法需要在衬底上方设置金属热丝,常用的像钨丝、钽丝。
    再将含碳气体高温加热到2000~2200℃,进行分解,形成活性粒子。
    在氢原子作用下,就会在衬底上沉积而形成金刚石。
    这种方法,虽然简单,但是沉积效率很低,比四十三所现在用的方法要低很多。
    不仅如此,而且工艺稳定性差,容易造成污染。
    虽然文献中还提了两种改良的方法,但是陈舟同样不认同。
    因为效率是提高了,但是金刚石薄膜的质量,还是太低。
    对于金刚石半导体材料和器件的研究,显然不适用。
    但是,改良方法,陈舟觉得可以一试。
    一种是反应气体分送的HFCVD法,也就是把碳源气体和氢气由热丝的下方和上方分别送入。
    另一种是电子助进的HFCVD法,通过给衬底加大约15


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