和氧气混合,在大气中燃烧。
燃烧的火焰分三个区,除了内焰和外焰外,还有一层还原焰。
将衬底放置在火焰的还原焰区域,生成金刚石。
这种方法的关键就是乙炔和氧气的混合比例R。
只有在R=0.7~1.0 区域时,才能生长成金刚石。
其他区域都不利于金刚石的生长。
“R=0.97~1.0。”
陈舟微微皱眉看着写下的这个区间。
他从文献中看到,当R=0.97~1.0 时,这种方法可以制备出透明的光学级金刚石薄膜。
习惯性的拿笔点了点草稿纸,陈舟暂时略过了这条信息,继续往下看文献。
【这种方法的优点是设备简单、成本低,能在大气中合成金刚石,生长速度快(60~150um/h),有利于大面积和复杂形状样品表面上金刚石的沉积。】
【其缺点是:沉积的金刚石薄膜具有不均匀的微观结构,薄膜常含非金刚石碳等不纯物,由于火焰的热梯度,易使衬底发生弯曲变形,并在薄膜中产生较大的热应力。】
“优缺点很明显的一种方法。”陈舟点评道。
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