类的核心技术中。
卫明了解到这位牛人蒲伟才跟他的技术团队,在短短的十年时间里,一共攻克了两项。
分别是双工台技术与光源技术。
他带领团队研发出的高精密双工台,控制精度也达到了2纳米,跟国外最先进水平,达到了同等先进的程度,抹平了技术差距,可以说是打成了平手。
在光源技术方面,蒲伟才也是只用了短短几年时间,利用国内在激光技术领域的领先地位,以及材料方面的优势,开发出的EUV光源系统,最终能源利用率达到了5%。
较之于艾思迈EUV光刻机的2%,能源利用率提升了一倍还多!
这意味着光刻机在使用的过程中,能节省一半多的电,减少产生大量的热量,系统的稳定性能提高不少。
也就是说,在EUV光刻机领域,蒲伟才这位牛人,以及他带领的技术团队,四大核心技术中,他们攻破了两个。
剩下的两大核心技术中。
组装技术方面,魔都微电子公司近些年已取得了巨大突破,具备了将10万多个零件组合成一台光刻机,并让其长期稳定工作下去的能力。
唯独镜头这块,国内还迟迟未能突破,因为艾思迈公司EUV光刻机所用