也大多以2.8作为低k电介质的k值上限。”
“ibm现在虽说找到了高k电介质材料,但它没有在45nm产品上采用这一工艺,很可能会在下一代的32nm上引用。”
“说到这一点啊……”
方卓坐在发改的办公室里顿了顿,扫视努力睁大眼听自己阐述材料的领导们,叹了口气:“说到这一点,可能我就得再多说一说了。”
一位晚上临时加班的司长听到这里,终于忍不住插嘴道:“方总,我们大概理解这个低k电介质的关键工艺了,是不是可以谈谈冰芯明年更具体的规划?”
“刘司长,这一点很重要,嗯,好吧,回头我再递一份详细材料,这里就不占用大家时间了。”方卓翻了翻文件。
会议室里的数位领导轻轻舒了口气,有的喝茶,有的放笔。
“冰芯明年的规划,其实不能光说是明年的规划,从今年十月份开始,我们冰芯就投入了更多的研究经费,旨在提升我们的短板。”方卓认真的说道,“更直白的说吧,也是向竞争对手台记学习。”
“我们在晶体管结构、高迁移率通道以及低尺寸材料和器件方面都有所立项。”
“关于晶体管结构,我要简单的谈三点。”